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        薄膜晶體管器件自動化電學表征系統的研究
         
             論文目錄
         
        摘要第5-6頁
        ABSTRACT第6-7頁
        第一章 緒論第14-22頁
            1.1 引言第14-15頁
            1.2 研究背景第15-19頁
                1.2.1 TFT器件技術第15-16頁
                1.2.2 TFT的主要電學特性第16-17頁
                1.2.3 TFT器件電學表征測量系統現狀第17-19頁
            1.3 開發TFT器件自動電學表征系統的意義第19-20頁
            1.4 TFT電學表征測量系統研究設計和驗證方法第20頁
                1.4.1 TFT電學表征測量系統研究設計第20頁
                1.4.2 驗證確認方法第20頁
            1.5 本文研究的主要內容及章節安排第20-22頁
        第二章 TFT器件工作原理及其電學表征研究分析第22-39頁
            2.1 TFT的結構及工作原理第22-27頁
                2.1.1 TFT的基本結構第22-23頁
                2.1.2 TFT的工作原理第23-26頁
                2.1.3 TFT主要性能參數第26-27頁
            2.2 TFT的主要電學表征第27-33頁
                2.2.1 轉移特性曲線第27-29頁
                2.2.2 輸出特性曲線第29-30頁
                2.2.3 瞬態特性曲線第30-31頁
                2.2.4 穩定特性曲線第31-33頁
            2.3 TFT電學表征的信號特點及測量要求第33-38頁
                2.3.1 TFT直流特性測量實驗介紹第34-36頁
                2.3.2 測量實驗數據第36-37頁
                2.3.3 TFT電性信號數據分析第37-38頁
                2.3.4 TFT電學表征特性曲線測量要求第38頁
            2.4 本章小結第38-39頁
        第三章 TFT自動電學表征系統實現難點及解決方案第39-58頁
            3.1 TFT電學表征測量系統分析第39-40頁
                3.1.1 傳統TFT電學表征測量系統分析第39-40頁
                3.1.2 TFT電學表征自動測量系統規劃第40頁
            3.2 測試夾具設計第40-49頁
                3.2.1 測試夾具材料的選擇第41-44頁
                3.2.2 測試夾具漏電流的控制第44-47頁
                3.2.3 測試夾具的實現方案第47-49頁
            3.3 自動控制模塊設計第49-56頁
                3.3.1 自動控制模塊器件選擇第49-53頁
                3.3.2 自動控制模塊電路設計第53-56頁
            3.4 本章小結第56-58頁
        第四章 TFT自動電學表征系統的實現第58-67頁
            4.1 TFT自動電學表征測量系統頂層設計第58-59頁
            4.2 測試夾具及自動控制系統硬件設計第59-62頁
                4.2.1 自動控制電路和測試夾具分開設計方案第59-60頁
                4.2.2 自動控制電路和測試夾具集成式PCB板設計方案第60-62頁
            4.3 自動控制電路固件設計第62-63頁
            4.4 電腦端控制程序(上位機程序)設計第63-66頁
            4.5 本章小節第66-67頁
        第五章 TFT自動電學表征系統驗證第67-75頁
            5.1 測試驗證方案第67-68頁
            5.2 測試驗證數據結果第68-73頁
                5.2.1 直流特性曲線量測對比第68-71頁
                5.2.2 穩定特性曲線測量第71-73頁
            5.3 本章小節第73-75頁
        第六章 總結第75-77頁
            6.1 主要工作與創新點第75頁
            6.2 薄膜晶體管器件自動電學表征系統展望第75-77頁
        參考文獻第77-80頁
        附錄1第80-86頁
        附錄2第86-91頁
        致謝第91-92頁
        攻讀碩士學位期間已發表或錄用的論文第92頁

         
         
        論文編號BS4380702,這篇論文共92
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